Einheitlichkeit der Dickenabscheidung
Einführung
Die Magnetron-Sputter-Beschichtung wird in großem Umfang bei der großflächigen Abscheidung angewendet, und der Gleichmäßigkeit der Dünnschichtdicke, dem Abscheidungsverhältnis, dem Ausnutzungsverhältnis des Zielmaterials und anderen Problemen in der Beschichtungsindustrie wird große Aufmerksamkeit geschenkt.
Ob es darum geht, einen Halbleiterchip mit einem dünnen Schutzfilm zu beschichten oder eine Antireflexbeschichtung auf ein Brillenglas aufzubringen, Prozessingenieure müssen bestimmte Dickenspezifikationen erfüllen, um die Leistungsanforderungen zu erfüllen. Ebenso wichtig wie die Filmdicke selbst ist die Gleichmäßigkeit der Dicke.
Faktoren, die die Abscheidungsleistung bestimmen
Die Abscheidung, ein Prozess zur Abscheidung dünner Materialschichten (oder Filme) auf einem Substrat, ist eine gängige Praxis in Branchen wie der Halbleiter- und Nanotechnologie. Die Dünnfilmabscheidung kann mit einer Vielzahl von Technologien erreicht werden, die Filme bereitstellen können, die von Isolatoren über Halbleiter bis hin zu Metallen reichen. Die Filme können ebenso unterschiedliche Rollen erfüllen, die von Zwischenschichtdielektrika bis hin zu Zwischenverbindungen reichen.
Flexibilität
Flexibilität, das Leistungsspektrum eines Systems, kann ein wichtiger Faktor bei der Entscheidung sein, welche Art von Abscheidungssystem angeschafft werden soll. Dies gilt eher für F&E-Umgebungen als für industrielle Anwendungen, bei denen häufig spezifische Lösungen bevorzugt werden. Das Verständnis der Materialien, die abgeschieden werden können, Substratgrößen, Temperaturbereiche, Ionenfluss, Abscheidungsraten, Frequenzen, Endpunkt und Druckbetriebsregime sind nur einige der Überlegungen. Flexibilität ist auch eine Systemqualität, die eine Planung für die Zukunft ermöglicht. In F&E ändern sich die Prioritäten, und es ist nützlich, ein System zu haben, das mit diesen Änderungen umgehen kann. Auf diese Überlegungen kommt noch das Budget. Abhängig von der Art der Technologieoptionen können die Systeme erheblich im Preis variieren.
Prüfbericht für VPI-Beschichter Modell:SD-900M
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