אחידות בתצהיר עובי

אחידות בתצהיר היא מדד לעקביות הסרט על פני המצע. בדרך כלל, זה מתייחס לעובי הסרט אבל זה יכול להתייחס גם לתכונות סרטים אחרות כמו אינדקס השבירה. הנתונים שנאספו על פני רקיק מוערכים בדרך כלל עם סטיית תקן המייצגת את הסטייה מהממוצע במונחים של סיגמא אחת, שתיים או שלוש. גישה חלופית היא להשתמש בנוסחה של ((ערך מקסימלי – ערך מינימלי)/2 x ערכים ממוצעים). יש לזכור לזהות אזור שבו יש לא לכלול את המטרולוגיה עקב הידוק או השפעות קצה אחרות.

כדאי להבין טוב את היישום כדי להימנע מאחידות מפרטת או נמוכה יותר. סרטים הממלאים תפקיד ישיר בפעולת המכשיר, כגון תחמוצת שער או עובי קבל, נוטים הרבה יותר להזדקק למפרט אחידות הדוק יותר מאשר סרטים שלא. אחידות לא רק משחקת תפקיד בביצועי המכשיר, אלא גם מנקודת מבט של ייצור חשוב להבין שצעדים אחרים עשויים להיות מושפעים מאחידות ירודה. סרט עם אחידות ירודה ישפיע על שלבי החריטה על ידי השפעה על הזמן שלוקח לחרוט את החלק הדק ביותר של הסרט לעומת העבה ביותר.