Uniformità di deposizione dello spessore
introduzione
Il rivestimento sputtering magnetron è ampiamente applicato nella deposizione di grandi aree e l'uniformità dello spessore del film sottile, il rapporto di deposizione, il rapporto di utilizzo del materiale target e altri problemi nell'industria del rivestimento sono oggetto di grande attenzione.
Che si tratti di rivestire un chip semiconduttore con una pellicola sottile protettiva o di applicare un rivestimento antiriflesso a una lente per occhiali, gli ingegneri di processo devono raggiungere determinate specifiche di spessore per soddisfare i requisiti prestazionali. Altrettanto importante quanto lo spessore del film stesso è l'uniformità dello spessore.
Fattori che determinano le prestazioni di deposito
La deposizione, un processo utilizzato per depositare strati sottili di materiale (o pellicola) su un substrato, è una pratica comune in industrie come quella dei semiconduttori e della nanotecnologia. La deposizione di film sottili può essere ottenuta con una varietà di tecnologie in grado di fornire film che vanno dagli isolanti ai semiconduttori ai metalli. I film possono svolgere ruoli ugualmente diversi che vanno dai dielettrici interstrato alle interconnessioni.
Flessibilità
La flessibilità, la gamma di capacità di un sistema, può essere un fattore significativo nel prendere una decisione sul tipo di sistema di deposizione da acquisire. Ciò è più vero per gli ambienti di ricerca e sviluppo piuttosto che per le applicazioni industriali in cui spesso si preferiscono soluzioni specifiche. Comprendere i materiali che possono essere depositati, le dimensioni del substrato, gli intervalli di temperatura, il flusso ionico, i tassi di deposizione, le frequenze, il punto finale e il regime operativo di pressione sono solo alcune delle considerazioni. La flessibilità è anche una qualità del sistema che consente di pianificare il futuro. In R&S le priorità cambiano ed è utile disporre di un sistema in grado di gestire tali cambiamenti. In cima a queste considerazioni c'è il budget. A seconda del tipo di opzioni tecnologiche, i sistemi possono variare in modo significativo nel prezzo.
Rapporto di prova per modello di rivestimento VPI:SD-900M
Foto lato sinistro