VPIのモデル900MマグネトロンスパッタリングコーターによるSEMサンプルの準備

VPIのモデル900MマグネトロンスパッタリングコーターによるSEMサンプルの準備

走査型電子顕微鏡 (SEM) は、材料科学においてさまざまなサンプルを画像化して分析するために使用される貴重なツールです。ただし、高品質の SEM 画像を得るには、サンプルを適切に準備する必要があります。サンプルを準備する方法の 1 つは、スパッタ コーティングと呼ばれるプロセスです。スパッタ コーティングでは、サンプルの表面に導電性材料の薄い層を堆積して、SEM 画像の品質を向上させます。

市場には数種類のスパッタコーターがありますが、VPI のモデル 900M マグネトロン スパッタコーターは最も効率的で使いやすいものの 1 つです。この記事では、モデル 900M マグネトロン スパッタコーターを使用して SEM サンプルを準備する方法と、他のコーターと比較してこのコーターが優れている理由について詳しく説明します。

背景

モデル 900M マグネトロン スパッタリング コーターは、マグネトロン ソースを使用して動作する真空スパッタ コーターの一種です。このマグネトロン ソースは、ターゲット材料からサンプルの表面に原子をスパッタするために使用されるイオン化ガスのプラズマを生成します。モデル 900M は、金、銀、プラチナなどの導電性金属を含むさまざまな材料を堆積できる多目的コーターです。

モデル 900M コーターには、他のスパッタ コーターに比べていくつかの利点があります。まず、均一で再現性の高いコーティングを生成できる高性能なコーターです。次に、モデル 900M は非常にユーザー フレンドリーで、直感的なインターフェイスにより簡単に操作できます。最後に、モデル 900M は、さまざまなサンプル サイズと形状に対応できる多用途のコーターです。

サンプルの準備

モデル 900M スパッタコーターを使用する前に、サンプルを適切に準備することが重要です。サンプルは清潔で乾燥している必要があり、汚染物質や表面の凹凸はすべて除去する必要があります。サンプルを準備するには、次の手順を実行する必要があります。

ステップ1: サンプルの洗浄

サンプルの準備の最初のステップは、サンプルを徹底的に洗浄することです。これは、溶剤洗浄、超音波洗浄、プラズマ洗浄など、さまざまな方法で行うことができます。溶剤洗浄では、サンプルをアセトンやイソプロピルアルコールなどの適切な溶剤で洗浄することで、表面の汚染物質を除去します。超音波洗浄では、サンプルを洗浄液に入れ、高周波音波を使用して汚染物質を除去します。プラズマ洗浄では、サンプルを低圧プラズマにさらすことで、サンプルの表面から有機残留物や汚染物質を除去します。

ステップ2：サンプルの乾燥

サンプルを洗浄した後は、コーティング プロセス中に水滴が形成されないように、サンプルを完全に乾燥させることが重要です。これは、空気乾燥、真空乾燥、オーブン乾燥など、さまざまな方法で行うことができます。空気乾燥ではサンプルを自然に乾燥させますが、真空乾燥ではサンプルを真空チャンバーに入れて真空にし、残留水分を除去します。オーブン乾燥では、サンプルを低温のオーブンに入れて水分を蒸発させます。

ステップ3: サンプルの取り付け

サンプルがきれいになり乾燥したら、適切なホルダーに取り付けます。ホルダーは導電性で、スパッタコーターとの電気的接触が良好である必要があります。サンプルはホルダーの表面に配置し、コーティングプロセスへの干渉を防ぐために余分な材料を切り取ってください。

サンプルのコーティング

モデル 900M スパッタコーターは、いくつかの簡単な手順で操作できるユーザーフレンドリーなコーターです。モデル 900M コーターを使用してサンプルをコーティングするには、次の手順に従います。

ステップ1: サンプルの読み込み

サンプルをコーティングする最初のステップは、サンプルをコーターのサンプル ステージに載せることです。サンプルはステージの中央に配置し、コーティング プロセスへの干渉を防ぐために余分な材料を切り取る必要があります。

ステップ2: コーティングパラメータの設定

次のステップは、コーターの操作パネルを使用してコーティングパラメータを設定することです。設定する必要があるパラメータには、コーティング時間、電流レベル、圧力レベル、ターゲット材料、コーティング厚さ（オプション）が含まれます。モデル 900M コーターでは、これらのパラメータを簡単に調整できるため、均一なコーティングが保証されます。

ステップ3: チャンバー内の排気

コーティング プロセスを開始する前に、チャンバー内の残留ガスを除去するためにチャンバーを真空にする必要があります。これは、コーターの真空システムを作動させてチャンバー内の空気を排出し、低圧環境を作り出すことで行われます。

ステップ4：コーティングプロセスの開始

チャンバーが真空になったら、コーティング プロセスを開始できます。これは、コーティング装置のマグネトロン ソースをアクティブにして、イオン化されたガスのプラズマを生成することによって行われます。このプラズマは、ターゲット材料からサンプルの表面に原子をスパッタリングするのに使用され、薄く均一なコーティングを作成します。

ステップ5: コーティングプロセスの監視

コーティングプロセス中は、コーティングの厚さと均一性を監視することが重要です。これは、現場での監視やコーティング後の測定など、さまざまな手法を使用して行うことができます。

ステップ6：コーティングプロセスの停止

希望するコーティング厚さが達成されたら、コーターのマグネトロン ソースを非アクティブ化してコーティング プロセスを停止できます。その後、真空システムを使用してチャンバー内に空気を送り込み、サンプルをコーターのステージから取り除くことができます。

結論

結論として、VPI のモデル 900M マグネトロン スパッタリング コーターは、SEM サンプルを準備するための効率的で使いやすいツールです。このコーターは均一で再現性のあるコーティングを生成でき、その汎用性により、さまざまなサンプル サイズと形状に適しています。この記事で概説した簡単な手順に従うだけで、ユーザーはイメージングと分析に適した高品質の SEM サンプルを準備できます。

市販されている他のスパッタコーターと比較して、モデル 900M は、その性能、使いやすさ、汎用性により、最高の製品の 1 つです。他のスパッタコーターはより特殊であったり、異なる機能を備えている場合がありますが、モデル 900M は、信頼性が高く、汎用性の高いスパッタコーターを必要とするユーザーにとって最適な選択肢です。