스퍼터링 코팅과 마그네트론 스퍼터링 코팅의 차이점은 무엇입니까?

스퍼터링 코팅과 마그네트론 스퍼터링 코팅의 차이점은 무엇입니까?

스퍼터링 코팅은 고에너지 이온으로 타겟 물질을 폭격하여 기판에 얇은 물질 필름을 증착하는 데 사용되는 기술입니다. 이 공정에서 타겟 물질은 먼저 진공 챔버에 놓인 다음 전기장을 사용하여 이온을 가속합니다. 이러한 이온은 타겟 물질과 충돌하여 원자를 떨어뜨린 다음 기판으로 이동하여 증착되어 얇은 필름을 형성합니다.

마그네트론 스퍼터링 코팅은 자기장을 사용하여 프로세스의 효율성과 속도를 높이는 스퍼터링 코팅의 한 유형입니다. 이 기술에서는 마그네트론을 사용하여 대상 물질 근처의 전자를 가두는 자기장을 생성하여 더 효율적으로 이온화하고 더 높은 증착 속도로 이어집니다.

스퍼터링 코팅과 마그네트론 스퍼터링 코팅의 주요 차이점은 후자 공정에서 자기장을 사용한다는 것입니다. 마그네트론 스퍼터링 코팅은 일반적인 스퍼터링 코팅에 비해 더 높은 증착 속도, 향상된 필름 접착력, 필름 두께에 대한 더 정확한 제어와 같은 여러 가지 장점을 제공합니다. 또한 마그네트론 스퍼터링 코팅은 일반적인 스퍼터링 코팅으로는 불가능할 수 있는 고융점 금속 및 세라믹(650MH)을 포함한 더 광범위한 재료를 증착할 수 있습니다.