เครื่องเคลือบซีรีส์ VPI
ทุกสิ่งที่คุณต้องรู้
เครื่องเคลือบแมกนีตรอนสูญญากาศสูง
เครื่องเคลือบไอออนสปัตเตอริงแมกนีตรอนสุญญากาศสูงให้สภาพแวดล้อมการสปัตเตอร์ที่เสถียรที่สุด และบรรลุเงื่อนไขการทดลองพื้นฐานของแมกนีตรอนสปัตเตอร์ในช่วงเวลาสั้นๆ มีตัวเลือกพลังงานสปัตเตอริง DC / RF สองชนิด ซึ่งอนุญาตให้สปัตเตอร์สารนำไฟฟ้าหรือไม่นำไฟฟ้าบนชิ้นงานทดสอบ และปรับปรุงประสิทธิภาพการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) นอกจากนี้ยังดีเยี่ยมสำหรับการรักษาพื้นผิวและการเคลือบผิว มันใช้งานง่ายและเป็นมิตรกับผู้ใช้เช่นกัน
Pulsing สารเคลือบคาร์บอนระเหย
เครื่องเคลือบคาร์บอนรุ่น SD980 เป็นเครื่องเคลือบคาร์บอนอัตโนมัติเต็มรูปแบบที่ใช้ฟิล์มคาร์บอนนำไฟฟ้าบางๆ บนพื้นผิวตัวอย่าง การใช้สารเคลือบนี้กับตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้าเป็นเทคนิคการเตรียมที่มีประสิทธิภาพสำหรับการลดสิ่งประดิษฐ์ของอิเล็กตรอนที่มีประจุไฟฟ้าสำหรับการวิเคราะห์ใน SEM มีโหมดพัลซิ่งสำหรับปกป้องตัวอย่างรวมอยู่ด้วย
เครื่องเคลือบไอออนสปัตเตอริง
รุ่น SD900 เหมาะอย่างยิ่งและออกแบบมาสำหรับการเตรียมตัวอย่าง SEM ในห้องปฏิบัติการ มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการเคลือบตัวอย่าง SEM ที่ไม่นำไฟฟ้าด้วย Au เพื่อการถ่ายภาพที่ดีขึ้น นอกจากนี้ยังดีเยี่ยมสำหรับการรักษาพื้นผิว แรงดันสุญญากาศทำงานได้อย่างรวดเร็วภายใน 2 นาที เมื่อใช้ปั๊มสุญญากาศที่เหมาะสม มันสร้างความร้อนน้อยกว่ามาก เป็นมิตรกับผู้ใช้และใช้งานง่าย
เครื่องเคลือบสปัตเตอริงอัตโนมัติ
รุ่น SD800 ที่เหมาะสำหรับการเตรียมตัวอย่าง SEM ในห้องปฏิบัติการ มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการเคลือบตัวอย่าง SEM ที่ไม่นำไฟฟ้าด้วย Au เพื่อการถ่ายภาพที่ดีขึ้น นอกจากนี้ยังดีเยี่ยมสำหรับการรักษาพื้นผิวแรงดันสุญญากาศในการทำงานสามารถทำได้อย่างรวดเร็วเมื่อใช้ปั๊มสุญญากาศที่เหมาะสม มันสร้างความร้อนน้อยกว่ามาก เป็นมิตรกับผู้ใช้และใช้งานง่ายโดยใช้ Time Control
แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง + สารเคลือบผิวระเหย
รุ่น SD900C (Magnetron Ion Sputtering Unit) ใช้กันอย่างแพร่หลายในการเคลือบตัวอย่าง SEM ที่ไม่นำไฟฟ้าหรือไวต่อความร้อนด้วย Au เพื่อการถ่ายภาพที่ดีขึ้น นอกจากนี้ยังดีเยี่ยมสำหรับการปรับสภาพพื้นผิวและหลีกเลี่ยงความเสียหายต่อตัวอย่างพื้นผิว
เครื่องเคลือบคาร์บอนใช้ฟิล์มคาร์บอนนำไฟฟ้าบาง ๆ บนพื้นผิวตัวอย่าง