สปัตเตอร์โค้ทเตอร์และเทคนิค

1. ในทางเทคนิค สสารทุกชนิดสามารถสปัตเตอร์ได้ โดยเฉพาะธาตุและสารประกอบที่มีจุดหลอมเหลวสูงและความดันไอต่ำ ของแข็งที่มีรูปร่างใดๆ โดยไม่คำนึงถึงสสาร เช่น โลหะ สารกึ่งตัวนำ ฉนวน สารประกอบและสารผสม สามารถใช้เป็นวัสดุเป้าหมายได้ เนื่องจากวัสดุฉนวนและโลหะผสม เช่น ออกไซด์ไม่ถูกสลายตัวและแยกส่วนเมื่อสปัตเตอร์ จึงสามารถใช้เตรียมฟิล์มบางที่มีส่วนประกอบคล้ายกันกับวัสดุเป้าหมายและฟิล์มอัลลอยด์ที่มีส่วนประกอบเหมือนกัน และแม้แต่ฟิล์มตัวนำยิ่งยวดที่มีองค์ประกอบซับซ้อน

 

2. การยึดเกาะที่ดีระหว่างฟิล์มที่สปัตเตอร์กับพื้นผิว

ก. พลังงานของอะตอมที่สปัตเตอร์สูงกว่าพลังงานของอะตอมที่ระเหย 1-2 คำสั่ง ดังนั้น อนุภาคพลังงานสูงจึงถูกสะสมไว้บนซับสเตรตเพื่อการแปลงพลังงาน ทำให้เกิดพลังงานความร้อนที่สูงขึ้น และเพิ่มการยึดเกาะของอะตอมที่สปัตเตอร์กับซับสเตรต

ข. ส่วนหนึ่งของอะตอมของสปัตเตอร์ที่มีพลังงานสูงจะทำให้เกิดปรากฏการณ์การฉีดในระดับต่างๆ กัน ก่อตัวเป็นชั้นการแพร่กระจายบนซับสเตรตซึ่งอะตอมของสปัตเตอร์และอะตอมของวัสดุซับสเตรตผสมกัน

ค. ในระหว่างการระดมยิงอนุภาคสปัตเตอริง สารตั้งต้นจะถูกทำความสะอาดและเปิดใช้งานในบริเวณพลาสมาอยู่เสมอ ซึ่งจะกำจัดอะตอมที่ตกตะกอนซึ่งไม่เกาะติดดีออก และทำให้บริสุทธิ์และกระตุ้นพื้นผิวของสารตั้งต้น ดังนั้นการยึดเกาะของชั้นฟิล์มสปัตเตอร์กับพื้นผิวจึงเพิ่มขึ้นอย่างมาก

 

3. ในกระบวนการเคลือบสปัตเตอร์ จะไม่มีปรากฏการณ์การปนเปื้อนจากแหล่งกำเนิดการระเหย ซึ่งไม่สามารถหลีกเลี่ยงได้ในระหว่างการสะสมไอระเหยในสุญญากาศ ดังนั้นความหนาแน่นของการเคลือบสปัตเตอริงจึงสูง รูเข็มน้อยลง และชั้นฟิล์มมีความบริสุทธิ์สูงด้วย

 

4. เนื่องจากสามารถควบคุมความหนาของฟิล์มได้โดยการควบคุมกระแสเป้าหมายระหว่างการเคลือบสปัตเตอร์ ดังนั้นความสามารถในการควบคุมความหนาของฟิล์มของการเคลือบสปัตเตอร์และความสามารถในการทำซ้ำของความหนาของฟิล์มของการสปัตเตอริงหลายครั้งจึงสามารถเคลือบความหนาของฟิล์มที่กำหนดไว้ล่วงหน้าได้อย่างมีประสิทธิภาพ

 

5. การเคลือบสปัตเตอร์ยังสามารถได้ฟิล์มที่มีความหนาสม่ำเสมอทั่วพื้นที่ขนาดใหญ่