Kalınlık Biriktirme Üniformite
giriiş
Magnetron püskürtme kaplama, geniş alan biriktirmede yaygın olarak uygulanır ve ince film kalınlığı tekdüzeliği, biriktirme oranı, hedef malzemenin kullanım oranı ve kaplama endüstrisindeki diğer problemlere büyük önem verilir.
İster yarı iletken bir çipi koruyucu bir ince filmle kaplayın, ister bir gözlük camına yansıma önleyici kaplama uygulayın, proses mühendislerinin performans gereksinimlerini karşılamak için belirli kalınlık özelliklerine ulaşması gerekir. Film kalınlığı kadar eşit derecede önemli olan, kalınlığın homojenliğidir.
Biriktirme Performansını Belirleyen Faktörler
İnce malzeme katmanlarını (veya filmi) bir substrat üzerine biriktirmek için kullanılan bir işlem olan biriktirme, yarı iletkenler ve nanoteknoloji gibi endüstrilerde yaygın bir uygulamadır. İnce film biriktirme, yalıtkanlardan yarı iletkenlere ve metallere kadar çeşitli filmler sağlayabilen çeşitli teknolojilerle elde edilebilir. Filmler, ara katman dielektriklerinden ara bağlantılara kadar uzanan eşit derecede çeşitli rollere hizmet edebilir.